ZrAlO x by Spray Pyrolysis as Gas Barrier for Oxide TFTs on Flexible Substrates

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 2024-01, Vol.71 (1), p.867-872
Hauptverfasser: Lee, Jiseob, Kim, Keunwoo, Shin, Jiyeong, Choi, Sanggun, Lee, Sunhee, Jang, Jin
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0018-9383
1557-9646
DOI:10.1109/TED.2023.3333817