Annealing Ambient and Film Thickness Dependent NO 2 Response and 1/ f Noise Characteristics of IGZO Resistor-Type Gas Sensors
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Veröffentlicht in: | IEEE transactions on electron devices 2023-10, Vol.70 (10), p.5475-5478 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0018-9383 1557-9646 |
DOI: | 10.1109/TED.2023.3303122 |