Annealing Ambient and Film Thickness Dependent NO 2 Response and 1/ f Noise Characteristics of IGZO Resistor-Type Gas Sensors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 2023-10, Vol.70 (10), p.5475-5478
Hauptverfasser: Shin, Wonjun, Koo, Ryun-Han, Hong, Seongbin, Jeong, Yujeong, Jung, Gyuweon, Lee, Sung-Tae, Lee, Jong-Ho
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0018-9383
1557-9646
DOI:10.1109/TED.2023.3303122