The Application of a Flash Discharge Lamp to the Determination of Impurities in Thin Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on component parts 1964-06, Vol.11 (2), p.9-13
1. Verfasser:	Guldner, W.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemical analysis Gases Impurities Lamps Nitrogen Plugs Resistors Substrates Thin film circuits Transistors
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