Pb(Zr 0.5 Ti 0.5 )O 3 -Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers for High Acoustic Transmission and Reception

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE electron device letters 2024-10, Vol.45 (10), p.1961-1964
Hauptverfasser:	Li, Zixuan, Li, Zhikang, Zhao, Yihe, Yuan, Jiawei, Zhao, Zilong, Ma, Qi, Qin, Shaohui, Shi, Xuan, Wang, Xiaozhang, Zhao, Libo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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