Impact of Bottom Electrode Crystallinity on Ferroelectricity of La-Doped HfO 2

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE electron device letters 2023-11, Vol.44 (11), p.1833-1836
Hauptverfasser:	Li, Jianguo, Su, Mingji, Weng, Zeping, Lan, Zhangsheng, Lee, ChoongHyun, Zhao, Yi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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