ZrO 2 -HfO 2 Superlattice Ferroelectric Capacitors With Optimized Annealing to Achieve Extremely High Polarization Stability

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE electron device letters 2022-09, Vol.43 (9), p.1451-1454
Hauptverfasser:	Liang, Yan-Kui, Li, Wei-Li, Wang, Yong-Jyun, Peng, Li-Chi, Lu, Chun-Chieh, Huang, Huai-Ying, Yeong, Sai Hooi, Lin, Yu-Ming, Chu, Ying-Hao, Chang, Edward-Yi, Lin, Chun-Hsiung
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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