Extremely Stable Dual Gate Coplanar Amorphous InGaZnO Thin Film Transistor With Split Active Layer by N 2 O Annealing
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Veröffentlicht in: | IEEE electron device letters 2020-12, Vol.41 (12), p.1782-1785 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0741-3106 1558-0563 |
DOI: | 10.1109/LED.2020.3034119 |