Over 10% of ${k}_{\text{eff}}^{{2}}$ Demonstrated by 2-GHz Spurious Mode-Free Sc 0.12 Al 0.88 N Laterally Coupled Alternating Thickness Mode Resonators

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE electron device letters 2019-06, Vol.40 (6), p.957-960
Hauptverfasser: Wang, Nan, Zhu, Yao, Chua, Geng Li, Chen, Bangtao, Merugu, Srinivas, Singh, Navab, Gu, Yuandong
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0741-3106
1558-0563
DOI:10.1109/LED.2019.2910836