Uniformity and Retention Improvement of TaO x -Based Conductive Bridge Random Access Memory by CuSiN Interfacial Layer Engineering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE electron device letters 2017-09, Vol.38 (9), p.1232-1235
Hauptverfasser: Gong, Tiancheng, Luo, Qing, Xu, Xiaoxin, Yuan, Peng, Ma, Haili, Chen, Chuanbing, Liu, Qi, Long, Shibing, Lv, Hangbing, Liu, Ming
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0741-3106
1558-0563
DOI:10.1109/LED.2017.2734907