A Novel High-Temperature Pressure Sensor Based on Graphene Coated by Si 3 N 4
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Veröffentlicht in: | IEEE sensors journal 2023-02, Vol.23 (3), p.2008-2013 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 1530-437X 1558-1748 |
DOI: | 10.1109/JSEN.2022.3232626 |