A Novel High-Temperature Pressure Sensor Based on Graphene Coated by Si 3 N 4

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE sensors journal 2023-02, Vol.23 (3), p.2008-2013
Hauptverfasser: Zeng, Simei, Tang, Chenggang, Hong, Hao, Fang, Yuan, Li, Yuning, Wang, Yuqiang, Kong, Lingbing, Sun, Jingye, Zhu, Mingqiang, Deng, Tao
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1530-437X
1558-1748
DOI:10.1109/JSEN.2022.3232626