Performance Investigation of Novel Pt/Pd-SiO 2 Junctionless FinFET as a High Sensitive Hydrogen Gas Sensor for Industrial Applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE sensors journal 2021-06, Vol.21 (12), p.13356-13363
Hauptverfasser: Sehgal, Himani Dua, Pratap, Yogesh, Gupta, Mridula, Kabra, Sneha
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1530-437X
1558-1748
DOI:10.1109/JSEN.2021.3067801