Performance Investigation of Novel Pt/Pd-SiO 2 Junctionless FinFET as a High Sensitive Hydrogen Gas Sensor for Industrial Applications
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Veröffentlicht in: | IEEE sensors journal 2021-06, Vol.21 (12), p.13356-13363 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1530-437X 1558-1748 |
DOI: | 10.1109/JSEN.2021.3067801 |