A Detailed Chemical Model for the Diffusion of Phosphorus Into the Silicon Wafer During POCl 3 Diffusion

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE journal of photovoltaics 2021-01, Vol.11 (1), p.50-57
Hauptverfasser:	Jager, Philip, Mertens, Verena, Baumann, Ulrike, Dullweber, Thorsten
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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