Highly Tunable Piezoelectric Resonators Using Al 0.7 Sc 0.3 N

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of microelectromechanical systems 2024-04, Vol.33 (2), p.121-123
Hauptverfasser:	Izhar, Deng, Yang, Fiagbenu, Merrilyn M. A., Kochhar, Abhay, Vetury, Ramakrishna, Olsson, Roy H.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!