Fast Selective Sensing of Nitrogen-Based Gases Utilizing δ-MnO 2 -Epitaxial Graphene-Silicon Carbide Heterostructures for Room Temperature Gas Sensing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of microelectromechanical systems 2020-10, Vol.29 (5), p.846-852
Hauptverfasser: Pedowitz, Michael D., Kim, Soaram, Lewis, Daniel I., Uppalapati, Balaadithya, Khan, Digangana, Bayram, Ferhat, Koley, Goutam, Daniels, Kevin M.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1057-7157
1941-0158
DOI:10.1109/JMEMS.2020.3007342