Fast Selective Sensing of Nitrogen-Based Gases Utilizing δ-MnO 2 -Epitaxial Graphene-Silicon Carbide Heterostructures for Room Temperature Gas Sensing
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Veröffentlicht in: | Journal of microelectromechanical systems 2020-10, Vol.29 (5), p.846-852 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 1057-7157 1941-0158 |
DOI: | 10.1109/JMEMS.2020.3007342 |