Reliability Study of 1T1C FeRAM Arrays With Hf 0.5 Zr 0.5 O₂ Thickness Scaling

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE journal of the Electron Devices Society 2022, Vol.10, p.778-783
Hauptverfasser:	Okuno, Jun, Kunihiro, Takafumi, Konishi, Kenta, Shuto, Yusuke, Sugaya, Fumitaka, Materano, Monica, Ali, Tarek, Lederer, Maximilian, Kuehnel, Kati, Seidel, Konrad, Mikolajick, Thomas, Schroeder, Uwe, Tsukamoto, Masanori, Umebayashi, Taku
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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