2D silicon/ferroelectric liquid crystal spatial light modulators

We have developed a spatial light modulator technology based on foundry silicon fabrication processes. This technology employs a thin, ferroelectric liquid crystal light-modulating layer at the substrate's surface, producing electrically addressed display devices with resolutions up to 256/spl...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE MICRO 1995-08, Vol.15 (4), p.67-76
Hauptverfasser: Drabik, T.J., Titus, A.H., Handschy, M.A., Banas, D., Gaalema, S.D., Ward, D.J.
Format: Artikel
Sprache:eng
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