X-ray Moiré Topography on SIMOX Structures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied crystallography 1996-10, Vol.29 (5), p.568-573
Hauptverfasser: Ohler, M., Prieur, E., Härtwig, J.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1600-5767
0021-8898
1600-5767
DOI:10.1107/S0021889896006401