Controlling the fixed negative charge formation in Si/high- k interfaces

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review materials 2022-09, Vol.6 (9), Article 094604
Hauptverfasser:	Lehtiö, Juha-Pekka, Jahanshah Rad, Zahra, Punkkinen, Marko, Punkkinen, Risto, Kuzmin, Mikhail, Laukkanen, Pekka, Kokko, Kalevi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!