Face-to-face annealed sputtered BaSi 2 : Investigations on surface homogeneity, film properties, and annealing mechanisms

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review materials 2020-12, Vol.4 (12), Article 125403
Hauptverfasser:	Tian, Yilei, Zeman, Miro, Isabella, Olindo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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