Chemical Trends in Impurity Incorporation into Si(100)
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Veröffentlicht in: | Physical review letters 1998-08, Vol.81 (8), p.1642-1645 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0031-9007 1079-7114 |
DOI: | 10.1103/PhysRevLett.81.1642 |