Chemical Trends in Impurity Incorporation into Si(100)

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Physical review letters 1998-08, Vol.81 (8), p.1642-1645
Hauptverfasser: Ramamoorthy, M., Briggs, E. L., Bernholc, J.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0031-9007
1079-7114
DOI:10.1103/PhysRevLett.81.1642