Evidence of Surface Loss as Ubiquitous Limiting Damping Mechanism in SiN Micro- and Nanomechanical Resonators

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review letters 2014-11, Vol.113 (22), Article 227201
Hauptverfasser:	Villanueva, L. G., Schmid, S.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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