Saturation of front propagation in a reaction diffusion process describing plasma damage in porous low- k materials

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter and materials physics Condensed matter and materials physics, 2011-06, Vol.83 (24), Article 245320
Hauptverfasser:	Safaverdi, Soghra, Barkema, Gerard T., Kunnen, Eddy, Urbanowicz, Adam M., Maes, Christian
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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