Luminescence of intrinsic and extrinsic defects in hafnium oxide films
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Veröffentlicht in: | Physical review. B, Condensed matter and materials physics Condensed matter and materials physics, 2007-12, Vol.76 (23), Article 235315 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1098-0121 1550-235X |
DOI: | 10.1103/PhysRevB.76.235315 |