Vacancy generation in liquid phase epitaxy of Si

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Physical review. B, Condensed matter and materials physics Condensed matter and materials physics, 2007-06, Vol.75 (23), Article 235201
Hauptverfasser: La Magna, A., Privitera, V., Fortunato, Guglielmo, Cuscunà, Massimo, Svensson, B. G., Monakhov, E., Kuitunen, K., Slotte, J., Tuomisto, F.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1098-0121
1550-235X
DOI:10.1103/PhysRevB.75.235201