Mechanisms of arsenic clustering in silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter and materials physics Condensed matter and materials physics, 2006-07, Vol.74 (3), Article 035205
Hauptverfasser:	Komarov, F. F., Velichko, O. I., Dobrushkin, V. A., Mironov, A. M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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