Helium ion implantation-induced defects in silicon probed with variable-energy positrons

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter Condensed matter, 2003-10, Vol.68 (16), Article 165332
Hauptverfasser:	Fujinami, M., Miyagoe, T., Sawada, T., Suzuki, R., Ohdaira, T., Akahane, T.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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