Surface roughening in low-pressure chemical vapor deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter Condensed matter, 2001-09, Vol.64 (12), Article 125411
Hauptverfasser:	Drotar, Jason T., Zhao, Y.-P., Lu, T.-M., Wang, G.-C.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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