Electrically Actuated Microbeams: An Explicit Calculation of the Coulomb Integral in the Entire Stable and Unstable Regimes Using a Chebyshev-Edgeworth Approach

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review applied 2022-07, Vol.18 (1), Article 014059
Hauptverfasser:	Schenk, Hermann A.G., Melnikov, Anton, Wall, Franziska, Gaudet, Matthieu, Stolz, Michael, Schuffenhauer, David, Kaiser, Bert
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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