Assessing Form-Dependent Optical Scattering at Vacuum- and Extreme-Ultraviolet Wavelengths of Nanostructures with Two-Dimensional Periodicity

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review applied 2019-06, Vol.11 (6), Article 064056
Hauptverfasser:	Barnes, Bryan M., Henn, Mark-Alexander, Sohn, Martin Y., Zhou, Hui, Silver, Richard M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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