Quantum-interferometric optical lithography: Towards arbitrary two-dimensional patterns

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. A, Atomic, molecular, and optical physics Atomic, molecular, and optical physics, 2001-06, Vol.63 (6), Article 063407
Hauptverfasser:	Kok, Pieter, Boto, Agedi N., Abrams, Daniel S., Williams, Colin P., Braunstein, Samuel L., Dowling, Jonathan P.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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