Determination of SiO 2 and C layers on a monocrystalline silicon sphere by reference-free x-ray fluorescence analysis

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Metrologia 2017-08, Vol.54 (4), p.481-486
Hauptverfasser:	Hönicke, Philipp, Holfelder, Ina, Kolbe, Michael, Lubeck, Janin, Pollakowski-Herrmann, Beatrix, Unterumsberger, Rainer, Weser, Jan, Beckhoff, Burkhard
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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