HfO 2 as gate insulator on N-polar GaN-AlGaN heterostructures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Semiconductor science and technology 2021-02
Hauptverfasser: Clymore, Christopher J., Mohanty, Subhajit, Jian, Zhe (Ashley), Krishna, Athith, Keller, Stacia, Ahmadi, Elaheh
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0268-1242
1361-6641
DOI:10.1088/1361-6641/abe21c