Electron interactions with tetramethylsilane from the ionization threshold up to 5000 eV

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2021-09, Vol.30 (9), p.95012
Hauptverfasser:	Bharadvaja, Anand, Bassi, Monika, Arora, Ajay Kumar, Baluja, Kasturi Lal
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	34.80.Bm 34.80.Gs 34.80.Ht ionization numbers partial ionization cross sections plasma science, cross sections, BEB model, scatteriing
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