PISCES-RF: a liquid-cooled high-power steady-state helicon plasma device
Radio-frequency (RF) driven helicon plasma sources can produce relatively high-density plasmas (n > 10(19) m(-3)) at relatively moderate powers (
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Veröffentlicht in: | Plasma sources science & technology 2021-05, Vol.30 (5), p.55014, Article 055014 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | Radio-frequency (RF) driven helicon plasma sources can produce relatively high-density plasmas (n > 10(19) m(-3)) at relatively moderate powers ( |
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ISSN: | 0963-0252 1361-6595 |
DOI: | 10.1088/1361-6595/abef19 |