PISCES-RF: a liquid-cooled high-power steady-state helicon plasma device

Radio-frequency (RF) driven helicon plasma sources can produce relatively high-density plasmas (n > 10(19) m(-3)) at relatively moderate powers (

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Plasma sources science & technology 2021-05, Vol.30 (5), p.55014, Article 055014
Hauptverfasser: Thakur, Saikat Chakraborty, Simmonds, Michael J, Caneses, Juan F, Chang, Fengjen, Hollmann, Eric M, Doerner, Russell P, Goulding, Richard, Lumsdaine, Arnold, Rapp, Juergen, Tynan, George R
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:Radio-frequency (RF) driven helicon plasma sources can produce relatively high-density plasmas (n > 10(19) m(-3)) at relatively moderate powers (
ISSN:0963-0252
1361-6595
DOI:10.1088/1361-6595/abef19