Consistent simulation of capacitive radio-frequency discharges and external matching networks

External matching networks are crucial and necessary for operating capacitively coupled plasmas in order to maximize the absorbed power. Experiments show that external circuits in general heavily interact with the plasma in a nonlinear way. This interaction has to be taken into account in order to b...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Plasma sources science & technology 2018-10, Vol.27 (10), p.105017
Hauptverfasser: Schmidt, Frederik, Mussenbrock, Thomas, Trieschmann, Jan
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!