Consistent simulation of capacitive radio-frequency discharges and external matching networks
External matching networks are crucial and necessary for operating capacitively coupled plasmas in order to maximize the absorbed power. Experiments show that external circuits in general heavily interact with the plasma in a nonlinear way. This interaction has to be taken into account in order to b...
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Veröffentlicht in: | Plasma sources science & technology 2018-10, Vol.27 (10), p.105017 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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