Room temperature synthesis of HfO 2 /HfO x heterostructures by ion-implantation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nanotechnology 2018-10, Vol.29 (42), p.425601
Hauptverfasser:	Nandi, Sanjoy Kumar, Venkatachalam, Dinesh Kumar, Ruffell, Simon, England, Jonathan, Grande, Pedro Luis, Vos, Maarten, Elliman, Robert Glen
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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