High sensitivity gas pressure sensor based on two parallel-connected Fabry–Perot interferometers and Vernier effect
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Veröffentlicht in: | Measurement science & technology 2021-12, Vol.32 (12), p.125124 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0957-0233 1361-6501 |
DOI: | 10.1088/1361-6501/ac2b73 |