A method of fine size measurement for telecentricity-based error compensation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Measurement science & technology 2021-10, Vol.32 (10), p.105015
Hauptverfasser:	Li, Wenjie, Wang, Haiwang, Tang, Rongjiang, Jiang, Zhansi, Li, Tengfei, Huang, Meikuan, Gao, Xingyu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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