In situ measurement of VUV/UV radiation from low-pressure microwave-produced plasma in Ar/O 2 gas mixtures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Measurement science & technology 2017-08, Vol.28 (8), p.85501
Hauptverfasser:	Iglesias, E J, Mitschker, F, Fiebrandt, M, Bibinov, N, Awakowicz, P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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