Physical and chemical effects in directional atomic layer etching

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2020-04, Vol.53 (18), p.183001
Hauptverfasser:	Sang, Xia, Chang, Jane P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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