The self-repairing of ion irradiation damaged Mo–S–Ti (MoST) lubricant films by thermal annealing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2020-04, Vol.53 (15), p.155202
Hauptverfasser:	Duan, Zewen, Jiang, Haixia, Qiao, Li, Chai, Liqiang, Wang, Peng, Zhao, Xiaoyu, Liu, Weimin
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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