Enhanced chemical etch rate of borosilicate glass via spatially resolved laser-generated color centers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2020-03, Vol.53 (13), p.135306
Hauptverfasser:	Serkov, A A, Snelling, H V
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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