Enhanced chemical etch rate of borosilicate glass via spatially resolved laser-generated color centers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2020-03, Vol.53 (13), p.135306
Hauptverfasser: Serkov, A A, Snelling, H V
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0022-3727
1361-6463
DOI:10.1088/1361-6463/ab6515