CMOS-compatible batch processing of monolayer MoS 2 MOSFETs

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2018-04, Vol.51 (15), p.15
Hauptverfasser:	Xiong, Kuanchen, Kim, Hyun, Marstell, Roderick J, Göritz, Alexander, Wipf, Christian, Li, Lei, Park, Ji-Hoon, Luo, Xi, Wietstruck, Matthias, Madjar, Asher, Strandwitz, Nicholas C, Kaynak, Mehmet, Lee, Young Hee, Hwang, James C M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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