Low temperature sputter-deposited ZnO films with enhanced Hall mobility using excimer laser post-processing

We report the low temperature (T

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2017-12, Vol.50 (48), p.485306
Hauptverfasser:	Tsakonas, C, Kuznetsov, V L, Cranton, W M, Kalfagiannis, N, Abusabee, K M, Koutsogeorgis, D C, Abeywickrama, N, Edwards, P P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	excimer laser annealing grain boundary scattering rf magnetron sputtering ZnO
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	We report the low temperature (T
ISSN:	0022-3727 1361-6463
DOI:	10.1088/1361-6463/aa9316