$Pressure dependence of Ar${\hspace{0pt}}_2^+$ , ArTi + , and Ti${\hspace{0pt}}_2^+$ dimer formation in a magnetron sputtering discharge$

Pressure dependence of Ar${\hspace{0pt}}_2^+$ , ArTi + , and Ti${\hspace{0pt}}_2^+$ dimer formation in a magnetron sputtering discharge

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2017-11, Vol.50 (44), p.445205
Hauptverfasser:	Hippler, R, Cada, M, Stranak, V, Hubicka, Z, Helm, C A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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