Silicon MEMS inertial sensors evolution over a quarter century

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Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 2021-08, Vol.31 (8), p.84002
Hauptverfasser:	Langfelder, G, Bestetti, M, Gadola, M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	accelerometers gyroscopes MEMS review silicon
Online-Zugang:	Volltext
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