$Fabrication and characterization of thin-film silicon resonators on 10 $\boldsymbol{{\mu}}$m-thick polyimide substrates$

Fabrication and characterization of thin-film silicon resonators on 10 $\boldsymbol{{\mu}}$m-thick polyimide substrates

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 2020-04, Vol.30 (4), p.45007
Hauptverfasser:	Pestana, Tiago G, Pinto, Rui M R, Dias, Rosana A, Martins, Marco, Chu, Virginia, Gaspar, João, Conde, João P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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