Virtual design and optimization studies for industrial silicon microphones applying tailored system-level modeling

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 2018-05, Vol.28 (5), p.54006
Hauptverfasser:	Kuenzig, Thomas, Dehé, Alfons, Krumbein, Ulrich, Schrag, Gabriele
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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