Experimental investigations on nanogrinding of RB-SiC wafers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Materials and manufacturing processes 2018-07, Vol.33 (9), p.1030-1035
Hauptverfasser:	Feng, Guang, Liu, Qiuzu, Guo, Wenliang, Xin, Yupeng, Liang, Qunlong
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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